Дар истеҳсоли пластинаҳои нимноқилӣ, раванди литография як қадами муҳим ва дақиқ аст, ки ҳосилнокии чипро муайян мекунад. Ҳамчун "асоси таъсири экспозиция ва тасвир" дар раванди истеҳсоли пластина, литография тамоми ҷараёни корро дар бар мегирад - аз ҷумла пӯшонидани чархзанӣ, таъсири экспозиция, таҳия, кандакорӣ ва тозакунии тар - ва талаботи хеле сахтро ба тозагии муҳити зист, назорати ифлосӣ, муҳофизати электростатикӣ ва муқовимати кимиёвӣ муқаррар мекунад. Зарраҳои чанг дар сатҳи микрон, муҳоҷирати ионҳои микро ва разрядҳои электростатикии муваққатӣ метавонанд мустақиман боиси нуқсонҳои фоторезистӣ, номувофиқатии нақш, оксидшавии пластина ва микро-кӯтоҳ дар схемаҳо шаванд, ки боиси партофтани тамоми пластинаҳо ва талафоти зиёди истеҳсолӣ мегардад. Бисёре аз FAB-ҳо барои беҳтар кардани ҳосилнокии равандҳои фотолитографияи худ мубориза мебаранд. Ҳатто вақте ки таҷҳизот, равандҳо ва параметрҳои муҳити зист ҳама дар тартиб бошанд, мушкилот аксар вақт дар масолеҳи ба назар ночизи муҳофизати дастӣ аст. Дастпӯшакҳои оддии синфи 1000 ё дастпӯшакҳои тозакунии дараҷаи саноатӣ барои стандартҳои ултра баланди раванди фотолитография комилан номувофиқанд.
Чаро истифодаи дастпӯшакҳои оддии тозакунӣ дар раванди литография қатъиян манъ аст?
Боқимондаҳои хока боиси олудашавии фоторезистӣ мешаванд
Ионҳои аз ҳад зиёди сулфур ва хлорид схемаҳои пластинаҳоро занг мезананд
Нерӯи барқи статикӣ аз назорат берун шуд ва боиси вайрон шудани пластинаи фотолитографияи дақиқ гардид
Рехтани пӯст ва рехтани он, ки боиси нуқсонҳои моддаҳои бегона дар раванди истеҳсолот мегардад
Дастпӯшакҳои нитрилии бе хока аз LjieClean Class 100
Ширкати Suzhou Leader, ки ба бахши истеҳсоли вафли нимноқилҳо ва ҳалли мушкилоти раванди литография тамаркуз мекунад, дастпӯшакҳои махсуси нитрилии синфи 100-ро бидуни хока ва камгаздор таҳия кардааст, ки ба талаботи истеҳсолии тамоми раванди литографияи вафли комилан ҷавобгӯ мебошанд ва онҳоро ба масолеҳи муҳофизатии афзалиятнок барои ширкатҳои сершумори истеҳсолӣ ва бастабандӣ ва озмоиши вафли табдил медиҳанд.
1. Раванди бе хока дар асоси дихлорид: дар раванди фотолитография ифлосшавии хока вуҷуд надорад
Бо истифода аз раванди тозакунии хлоркунии махсуси нимноқил, ин усул дар тамоми раванд илова кардани иловаҳои ёрирасон, ба монанди тальк, крахмали ҷуворимакка ё равғани силиконро талаб намекунад. Он истифодаи ҳамворро дар худи раванд таъмин мекунад ва зарраҳои хока ва боқимондаҳои равғани силиконро, ки фоторезистро дар манбаъ олуда мекунанд, нест мекунад ва бо ин васила камбудиҳои зарраҳои бегонаро дар раванди фотолитография пурра ҳал мекунад.
2 Шустани бисёрмарҳилавии оби ултрапуст ба миқдори ками сулфур, хлори кам ва миқдори ками ионҳо ноил мегардад
Тавассути давраҳои сершумори шустани амиқ бо оби тозаи баланд, иловаҳои ашёи хом ва боқимондаҳои рӯизаминӣ тоза карда мешаванд. Миқдори сулфур, хлор ва ионҳои металлии ҳалшаванда қатъиян назорат карда мешавад, ки дар натиҷа NVR (боқимондаи ғайриуҷурнашаванда) паст мешавад. Ин аз оксидшавии вафлҳо, зангзании рӯйпӯшҳо ва нуқсонҳои кандакорӣ пешгирӣ мекунад ва дастпӯшакҳоро бо равандҳои серталаби литография барои вафлҳои 8 ва 12 дюймӣ комилан мувофиқ мегардонад.
3 Муҳофизати ESD-и тағйирёфта дар қолаб барои ҳифзи пластинаҳои ҳассос ба электростатикӣ
Бар хилофи дастпӯшакҳои зиддистатикии тиҷоратӣ бо рӯйпӯшҳои муваққатии дорупошӣ, Gonars технологияи тағйири зиддистатикии дохили қолабро дар маводи нитрил истифода мебарад. Ин муқовимати сатҳи устувор ва якхеларо таъмин мекунад ва барқи статикиро дар тамоми раванд пайваста пароканда мекунад, то аз ҷамъшавии статикӣ, ки метавонад боиси вайроншавии фоторезист ва вайрон шудани схемаҳои дақиқи вафл гардад, пешгирӣ кунад. Он барои марҳилаҳои литографияи аслӣ, ба монанди фош ва таҳия мувофиқ аст.
4 Мутобиқати чандир ва бароҳат, барои амалиётҳои дақиқ дар сатҳи микрон мувофиқ аст
Маводи дастпӯшак чандир буда, ба контурҳои даст мувофиқат мекунад. Бо тарҳи бофташудаи лағжишнашаванда дар нӯги ангуштон, он сабук ва ғайриқалбӣ аст, ки онро барои амалиётҳои дақиқ, аз қабили коркарди пластинаҳои фотолитографӣ, ислоҳи хатогиҳои таҷҳизот ва санҷиши дақиқ беҳтарин мегардонад. Он ҳаракати бемаҳдудро таъмин мекунад ва аз лағжиш пешгирӣ мекунад ва зарари аз лағжиши тасодуфӣ ҳангоми амалиётҳои дастӣ ба вуҷуд омадаро самаранок ба ҳадди ақал мерасонад. Илова бар ин, он ба ҳалкунандаҳои фотолитографӣ ва кислотаҳо ва ишқорҳои нарм тобовар аст ва ҳатто ҳангоми истифодаи тӯлонӣ бе пиршавӣ ё кандашавӣ устувор боқӣ мемонад.
5
✅ Бастабандии дуқабата бо вакуум мӯҳршуда ифлосшавии дуюмдараҷаро аз байн мебарад
Маҳсулоти тайёр дар тамоми раванд дар утоқи тозакунии синфи 100 бо истифода аз бастабандии дуқабата бо вакуум мӯҳр кардашуда бастабандӣ карда мешаванд, ки онҳоро ҳангоми нигоҳдорӣ ва интиқол аз чанг ва намӣ комилан ҷудо мекунад. Ҳангоми кушодани бастабандӣ ифлосшавии дуюмдараҷа вуҷуд надорад, ки ин имкон медиҳад, ки онҳо фавран дар утоқҳои тозакунии литографияи синфи 100 истифода шаванд.
Вақти нашр: 23 июли соли 2026