Дар заминаи талаботи рӯзафзуни сахттари "сифр нуқсон" дар истеҳсоли нимноқилҳо, дастпӯшакҳои нитрилии пастхлории 9-дюймаи Lijie ба таҷҳизоти муҳофизатии ҳатмӣ дар коркарди вафлҳо ва бастабандии чипҳо табдил ёфтаанд, ки ин ба туфайли боқимондаҳои ионии кам ва сифати баланди тозагии онҳост. Тавассути коркарди махсус, миқдори хлори дастпӯшак дар ≤50ppm қатъиян назорат карда мешавад, ки аз стандарти саноатии 100ppm ба таври назаррас зиёдтар аст. Ин хатарҳои зангзаниро, ки аз муҳоҷирати ионҳои хлорид дар сатҳҳои вафл ба вуҷуд меоянд, самаранок пешгирӣ мекунад ва ба талаботи қатъии истеҳсоли нимноқилҳо барои назорати ифлосшавии микроскопӣ ҷавобгӯ мебошад.
Дар равандҳои литография, тозагии дастпӯшакҳо мустақиман ба дақиқии рӯйпӯши фоторезистӣ ва натиҷаҳои таъсири он таъсир мерасонад. Ин маҳсулот, ки дар синфи 100,000 утоқҳои тоза истеҳсол шудааст ва бо лазер тозакунии чанг анҷом дода мешавад, партовҳои зарраҳои рӯизаминиро камтар аз 0,2 зарра/дюймаи мураббаъ нишон медиҳад, ки ба стандартҳои синфи 3-и утоқи тозаи ISO мувофиқат мекунад. Ин ба таври муассир аз часпидани микрозарраҳо ба сатҳҳои вафли пешгирӣ мекунад ва бо ин васила камбудиҳои литографияро коҳиш медиҳад. Тарҳи дарозии 9 дюйм фарогирии пурраро аз даст то кафи даст таъмин мекунад. Дар якҷоягӣ бо сохтори эластикии даст, он чандирии амалиётиро таъмин мекунад ва дар айни замон аз рехтани чанг дар сӯрохи остин пешгирӣ мекунад ва ба талаботи қатъии муҳити тозаи динамикӣ дар равандҳои литография ҷавобгӯ мебошад.
Дар равандҳое, ки реагентҳои хеле зангзананда, ба монанди кандакорӣ ва имплантатсияи ионҳоро дар бар мегиранд, ин дастпӯшакҳо муқовимати истисноии кимиёвӣ нишон медиҳанд. Пас аз санҷиши 24-соата дар реагентҳои маъмулии нимноқилҳо, ба монанди кислотаи гидрофторӣ ва кислотаи фосфорӣ, онҳо варам ё кафиданро нишон намедиҳанд ва суръати тағйирёбии вазн аз 0,8% камтар аст. Ин муҳофизати боэътимоди дастро барои операторон таъмин мекунад ва ҳамзамон хатари ифлосшавии реагентҳоро аз осеби дастпӯшак бартараф мекунад. Нӯги ангуштон дорои сохторҳои зиддилағзиши бо лазер кандакорӣшудаи 0,02 мм мебошанд, ки ҳангоми кор бо вафлиҳои 12-дюйма соишро 35% зиёд мекунанд ва хатари лағжиши вафлиро 60% кам мекунанд. Ин тавозунро байни бехатарии муҳофизатӣ ва устувории амалиётӣ ба даст меорад.
Айни замон, ин дастпӯшакҳо тибқи стандартҳои SEMI F57 сертификатсия шудаанд ва дар хатҳои истеҳсоли оммавӣ дар корхонаҳои пешбари рехтагарӣ, аз ҷумла SMIC ва Hua Hong Semiconductor, истифода мешаванд. Онҳо сатҳи партовҳои варақаро, ки аз тамос бо даст ба вуҷуд меоянд, 38% кам мекунанд, худро ҳамчун интихоби беҳтарин дар истеҳсоли нимноқилҳо барои мувозинати муҳофизати утоқҳои тоза ва самаранокии амалиётӣ муаррифӣ мекунанд.
Вақти нашр: 11 ноябри соли 2025